会社名
株式会社プラズマテック
代表者
瀧澤 一雄
所在地
〒190-1213
東京都西多摩郡瑞穂町武蔵211
TEL 042-568-7433
FAX 042-568-3397
設立
1985年
資本金
1500万円
沿革
1985年 株式会社プラズマテック設立
スパッタリング用高周波電源商品化
1986年 イオンプレーティング用直流電源商品化
1991年 真空蒸着用EB源及びEB源制御電源商品化
1997年 連続蒸着用EB源G-12100商品化
連続蒸着用EB源制御電源D-10CS1/D-10CS2商品化
1999年 本社を東京都あきる野市に移転
EB源G-12300商品化
放電抑制装置TR-AS商品化
2001年 東京都瑞穂町に工場移設
2002年 ビーム走査用マルチスキャンMS201商品化
2003年 EB源制御電源D-101/D-102商品化
2004年 EB源制御電源D-061/D-062商品化
2006年 反射電子抑制EB源G-12400/G-12500商品化
本社を東京都瑞穂町に移転
2008年 ビームスキャン特許化 [特許第4120217号]
2009年 EB源G-12600/G-12700商品化
2012年 EB源制御電源D-06A/D-06B/D-10A/D-10B商品化
2014年 EB源G-11000商品化
2015年 15kWEB源G-11500商品化
15kWEB源制御電源D-15A商品化