EB源
G-12100
[10kW]初期販売モデル 長時間成膜対応
G-12400
G-12500(加速電圧可変対応)
[10kW]反射電子抑制モデル
G-12600(加速電圧可変対応)
G-12700
[10kW]G-12100改良モデル
G-11000シリーズ
[10kW]金属膜に特化したモデル
基板への熱影響を抑えています
EB源制御電源
D-06A/B(6kW),D-10A/B(10kW)
D-15A(15kW)
A:1EB源仕様 B:2EB源仕様
☆オプション
・加速電圧3点切換機能
・マルチスキャン(ビーム操作)
放電抑制装置は標準搭載